大理石測量平臺的測量方法簡要
大理石測量平臺的測量方法有三種
1.是借助精度為0.5m的電子水平儀,用位移法可檢測大理石平臺的直線度,用次方法可檢測大理石平臺的平面度,將檢測的結(jié)果經(jīng)過算法換算,可得到大理石平臺的直線度和平面度的具體數(shù)值;其特點是精度不太高,但測量數(shù)據(jù)可靠,無“0”點漂移問題,特別適合于在線測量與檢測精密大理石平臺。
2.測量精密大理石平臺直線度的方法可以通過精度為0.1m的電容測微儀用位移法測量,其表頭的示值即為精密大理石平臺的直線度的誤差值;在此測量中,由于電感測微儀自身的“0”點漂移較嚴(yán)重,需經(jīng)過長達(dá)24h的穩(wěn)定后,其數(shù)值才可信,故使得精密大理石平臺加工與測量間的銜接時間增長。
更高精度精密大理石平臺的加工必須有更高一級精度的檢測手段,目前常采用HP5528A或HP5529A動態(tài)校準(zhǔn)儀,它的顯示精度為1nm,可檢測平面度、垂直度、直線度、時基即振動、角位移測量、對角測量等等。動態(tài)校準(zhǔn)儀的檢測精度特別高,但由于其復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和復(fù)雜的調(diào)試程序,尤其是光具返回光束的光強(qiáng)和保證在80%以上,否則光束將被擋住,這對精密大理石平臺調(diào)試者來說